UV LED Photolithography
UV LED Mask Aligner
수동, 반자동 및 전자동 마스크 정렬 장치는 소량 R&D 설정부터 대량 대량 생산 라인까지
어디에서나 찾아볼 수 있습니다. Primelite의 UV-LED 리소그래피 노광 시스템
(ALE/1, ALE/1C 및 ALE/2)은 완전히 모든 제조 시나리오의 요구 사항을 준수하며
소형(200W, 350W, 500W) 및 중형(750W, 1,000W, 1,500W) 수은 아크 램프를
대체하기 위해 다양한 마스크 정렬 장치에 통합되었습니다. 광대역 애플리케이션.
i-라인 전용 공정에서 당사의 UV-LED 노광 시스템은 최대 5,000W 정격의 기존
방전 램프 성능과 일치합니다.
본문
마스크 정렬 시스템은 MEMS, 화합물 반도체, 전력 장치 및 미세유체공학용 백엔드 리소그래피에서
두드러지게 사용됩니다. 그럴 만한 이유가 있습니다.
* 웨이퍼 레벨 칩 스케일 패키징(WLCSP)
* 팬아웃 웨이퍼 레벨 패키징(FOWLP)
* 플립칩 패키징, 3D-IC/ 실리콘 관통전극(TSV)
* 범핑 및 2.5D 인터포저
첨부파일
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PGL-06-00079-H-Advanced-Light-Engine-ONE-Handout-EN.pdf (1.1M)
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PGL-06-00080-F-Advanced-Light-Engine-ONE-C-Handout-EN.pdf (714.6K)
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PGL-06-00093-G-Advanced-Light-Engine-TWO-Handout-EN.pdf (724.8K)
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